深圳市三钛科技有限公司

常见位置 ：法兰连接处的密封圈老化/压偏、焊缝有微小裂纹、观察窗密封不严、阀门密封失效等。

排查方法 ：

简易法 ：对于负压不高的系统，可以用肥皂水或酒精涂抹在可疑连接处，观察有无气泡或酒精被吸入。

专业法 ：使用氦质谱检漏仪 ，对着可疑漏点喷吹氦气，观察真空计读数是否有剧烈变化。这是最精准高效的方法。

内部漏气 ：指真空系统内部不同压力区域之间的串气。例如，冷却水管路有裂纹，导致水漏入真空腔体后气化。这种情况相对隐蔽，不易排查。

小贴士 ：漏气导致的真空度波动，通常表现为真空度在一个较差的数值附近无规律地小幅跳动。

元凶二：真空泵“罢工”或“怠工” (Pump Issues) 

真空泵是系统的心脏，心脏出了问题，系统自然不稳。

泵油污染/乳化 ：这是机械泵最常见的问题。泵油吸入水汽或杂质后会乳化、变质，导致其饱和蒸汽压升高，极限真空度变差，抽速下降。

检查方法 ：观察真空泵的油窗，如果泵油变得浑浊、发白(乳化状)，就该换油了。

解决方案 ：立即更换合格的真空泵油，如果污染严重，建议用新油冲洗泵腔。

泵自身性能下降 ：长时间使用后，泵的旋片、轴承等部件会磨损，导致泵的抽速和极限真空度下降，带载能力减弱，从而引起波动。

返油现象 ：停泵或操作不当时，泵油可能返流进入真空管道和腔体，污染系统，成为一个持续的污染源。

元凶三：腔体内的“隐形杀手”——放气 (Outgassing) 

即便系统完全不漏，真空度也可能因为“放气”而波动。

什么是放气 ：真空环境下，吸附在腔体内壁、工件、夹具表面的分子(尤其是水分子)会重新逸出，进入腔体空间，这个过程就是放气。

波动原因 ：当系统抽气速率与放气速率相当时，任何轻微的温度变化或工件状态改变，都会打破这个平衡，引起真空度波动。尤其在 10⁻¹ Pa ~ 10⁻⁴ Pa 这个压力区间，水蒸气的放气是主导因素。

解决方案 ：

烘烤 ：对真空腔体和内部件进行加热(烘烤)，可以大大加速表面分子的解析，从而减少后续的放气。

清洁 ：保持腔体和工件的清洁，避免油污、手印等污染物，它们都是巨大的放气源。

元凶四：工艺过程的“干扰” (Process Interference) 

在很多应用中(如镀膜、热处理)，工艺过程本身就是个“产气”过程。

举例说明 ：

在加热工件时，工件本身会大量放气，导致真空度瞬间变差。

在等离子体工艺中，工艺气体的流量、反应产物都会实时影响腔内压力。

排查方法 ：对比空载(不加工件、不开启工艺)和加载(正常工艺)时的真空曲线。如果空载稳定而加载波动，问题就出在工艺或工件上。

元凶五：温度“捣乱” (Temperature Fluctuation) 

温度是影响真空度的重要变量。

影响机理 ：

环境温度 ：影响真空泵的工作效率和泵油温度。

腔体温度 ：直接影响材料的放气速率。温度稍有升高，放气量可能成倍增加。

解决方案 ：尽量保持真空系统所处环境的温度稳定，对需要精确控温的工艺，要做好腔体的温控。

元凶六：测量系统“报错” (Measurement Error) 

有时候，系统没问题，是“裁判”——真空计出了问题。

真空计探头（规管）污染 ：探头被工艺粉尘、油污覆盖，会导致其响应迟钝、读数漂移甚至跳动。

安装位置不当 ：如果将真空计安装在靠近泵口或进气口的位置，它测量的就不是腔体的平均压力，而是局部气流的动态压力，自然会不稳。

电气干扰 ：真空计的信号线受到强电磁干扰，也可能导致读数异常跳动。

解决方案 ：

清洁/更换规管 ：定期检查并清洁真空计探头。

优化安装位置 ：将规管安装在能代表腔体真实真空度的位置。

检查线路 ：确保信号线远离干扰源。

【故障排查步骤总结】

面对真空度不稳，不要慌乱。遵循“先外后内，先简后繁 ”的原则，系统地进行排查：

第一步：观察确认。 记录真空度波动的范围和频率，是规律性波动还是无规律跳动?

第二步：排查漏气。 这是最优先的步骤。用氦质谱检漏仪全面检查一遍，省时省力。

第三步：检查真空泵。 查看泵油状态，听运行声音有无异常。

第四步：审视腔体与工艺。 检查腔体是否洁净，对比空载和加载时的表现。

第五步：校验测量系统。 如果以上都排除了，就要怀疑是不是真空计本身的问题了，可以尝试用一个好的规管替换对比。

总结 ：真空度波动不稳是一个综合性问题，但只要掌握了正确的分析思路，从这六大“元凶”入手，逐一排查，绝大多数问题都能迎刃而解。